厂 商 深圳中图
型 号 NS-200
到货日期 2024年12月

1，主要特点及用途
    全自动台阶仪（型号NS200）是一种高精度自动化测量设备，主要用于微观结构的形貌分析和台阶高度检测。其核心特点及用途如下： 

主要特点 

1. 高精度测量 

   - 台阶高度重复性达 5Å（量程330μm时），支持纳米级精度，适用于超薄膜和微观结构的测量。 

   - 传感器可选最大量程（330μm或1050μm），适应不同量程需求。 

2. 自动化与灵活性 

   - 配备电动X/Y平台（150mm×150mm）和电动360°旋转载物台，支持大范围样品自动定位与校平。 

   - 真空吸盘可固定最大8英寸晶圆，兼容样品厚度达50mm。 

3. 高效扫描与观测 

   - 单次扫描长度55mm，扫描速度范围2μm/s-10mm/s，支持快速或高分辨率模式（最高12万采样点）。 

   - 集成500万像素彩色摄像机和150倍放大光学模块，提供2.2×1.7mm高清正视视野，便于实时导航与观测。 

4. 精密探针与可控测量力 

   - 探针曲率半径仅2μm，60°夹角设计，减少测量损伤。 

   - 测量力可调（1-50mg），适应不同硬度材料的无损检测。 

主要用途

- 半导体与微电子领域：用于晶圆、光刻胶、薄膜的台阶高度、表面形貌及厚度测量，支持工艺优化与质量控制。 

- 材料科学研究：分析纳米级涂层、微结构器件的三维轮廓，评估材料均匀性与加工精度。 

- 工业生产检测：自动化批量检测，提升生产线效率，确保产品符合高精度标准。  该设备凭借高精度、自动化及大样品兼容性，成为实验室和工业场景中微观形貌分析的理想工具。
 

2、联系方式：
杨道宾   13408096284    yangdaobin@nimte.ac.cn
3、实验室
科研楼 E717